VS系列真空控制系統(tǒng)

LVSE-0.1低真空控制系統(tǒng)

產(chǎn)品應(yīng)用：

該系統(tǒng)為一組低真空機組設(shè)備，控制設(shè)備真空度小于1Pa一下；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用

設(shè)備組成：

設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵組成

技術(shù)參數(shù)：

1. 真空泵：FX-16
2. 真空泵抽氣速度：16m³/h（4L/s）
3. 真空泵極限壓強：（Pa）≤4*10^-2
4. 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥
5. 真空波紋管：KF25*1000mm
6. 真空計VRD-I:規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)
7. 電源功率：220v/50Hz；0.8kw
8. 出氣進氣口規(guī)格：KF25
9. 連接口：2個KF25接口

LVSE-0.1A可調(diào)低真空控制系統(tǒng)

產(chǎn)品應(yīng)用：

   該系統(tǒng)為一組低真空恒壓機組設(shè)備，控制設(shè)備真空壓力恒定在1.0KPa—100.0KPa之間；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用

設(shè)備組成：

   設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵、變速器、電動調(diào)節(jié)閥門等組成；

技術(shù)參數(shù)：

1. 真空泵：FX-16
2. 真空泵抽氣速度：16m³/h（4L/s）
3. 真空泵極限壓強：（Pa）≤4*10^-2
4. 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥
5. 真空波紋管：KF25*1000mm
6. 真空計：VRD-I:
7. 規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)
8. 電源功率：220v/50Hz；0.8kw
9. 調(diào)速變頻器：0.75kw
10. 壓強控制范圍：1.0KPa—100KPa
11. 壓強控制精度：±1KPa
12. 出氣進氣口規(guī)格：KF25
13. 連接口：2個KF25接口

HVSE高真空控制系統(tǒng)

產(chǎn)品應(yīng)用：

   該系統(tǒng)為一組復(fù)合分子泵、前級抽氣泵機組設(shè)備，控制設(shè)備真空度小于8*10^-4Pa；配合真空管式爐、箱式真空氣氛爐等高真空設(shè)備使用；廣泛應(yīng)用于表面分析、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)研究

設(shè)備組成：

設(shè)備由復(fù)合分子泵、前級抽氣泵、隔斷放氣閥、前級管路、分子泵電源、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計）、控制電源組成

產(chǎn)品特點：

預(yù)抽氣旁路設(shè)計，前級抽氣不經(jīng)過分子泵避免預(yù)抽氣體中顆粒進入分子泵

技術(shù)參數(shù)：

前級真空泵：TRP-24           

真空泵抽氣速度：4L/s

分子泵：FJ-620               

抽氣速率：600L/s

分子泵極限壓強：6*10-6Pa       

建議啟動壓強：＜100Pa

排氣口法蘭：KF40             

 進氣口法蘭：DN160LF

波紋管：KF40*1000mm           

復(fù)合真空計：ZDF-III

真空電磁擋板閥：KF40          

真空腔體真空度：＜8*10-4Pa

工作電壓：220v/50Hz