單溫區(qū)滑桿式PECVD系統由滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。單溫區(qū)滑竿式PECVD系統相對于CVD系統增加了等離子發(fā)生器